반도체 공정에 AI 적용…예측으로 실험·개발기간 줄인다
요약
반도체 제조는 포토, 식각, 박막 증착, 이온주입 등 수많은 공정이 연결된 고난도 작업으로, 공정마다 온도·압력·시간·가스 농도 등 변수가 작용하고 앞선 공정의 미세한 변화가 후속 공정 결과에 영향을 준다. 초미세화·고집적화 경쟟이 심화하면서 AI를 활용해 공정 결과를 예측하고 최적화하는 기술이 차세대 반도체 산업 경쟁력을 좌우할 핵심 기술로 부상하고 있다. 기존에는 숙련된 엔지니어의 경험에 의존해 공정을 조정해 왔다.
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- 온도
- 언어 모델이 다음 토큰을 선택할 때 확률 분포를 얼마나 평평하게 만들지 조절하는 샘플링 파라미터를 말한다.
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